三星电子已在平泽 P5 工厂启动 Die-to-Wafer(晶粒到晶圆)混合键合量产线的建设,目标直指下一代 HBM 与逻辑半导体的先进封装。核心设备供应商首选荷兰公司 Besi,三星计划采购约 50 台混合键合机,单台价格约 60 亿韩元(约 430 万美元),是竞品价格的两倍。
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不过,由于三星要求对设备架构进行定制修改,双方谈判进展较慢,而 Besi 同时也在供应台积电与美光,对单独为三星改机持谨慎态度。在此背景下,三星也在同步考虑本土替代方案。子公司 SEMES 已完成 D2W 混合键合机的开发,并于今年早些时候送样验证。韩华 Semitech 则在 2 月完成第二代「SHB2 Nano」开发,4 月已向 SK 海力士送样,其集成 EFEM、等离子激活与清洗模块的集群系统形成了差异化竞争力。
混合键合技术采用铜直接键合替代传统热压键合,可将铜与介质材料直接连接,大幅缩短互连长度。核心应用场景为定制 HBM,即将 HBM DRAM 层直接垂直堆叠在含客户计算电路和 IP 的逻辑 die 上,形成 3D 系统级封装。
Citrini 分析师 Jukan 表示,混合键合预计将用于英伟达下一代 AI 加速器 Feynman,该芯片将采用定制 HBM,但技术落地时间「已从 HBM4E 向后推迟」。三星内部预计,该技术要到 2029 至 2030 年左右方能实现规模化应用,这一时间点与英伟达 Feynman 的预期窗口基本重合。需要注意的是,当前设备供应链的不确定性以及技术落地时间的推迟,仍可能对相关产品的量产节奏产生影响。
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